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表面粗糙度中的RMS單位含義

  • 發(fā)布日期:2012-04-24      瀏覽次數(shù):6143
    • 表面粗糙度中的RMS單位含義

      RMS=微粗糙度

      表面粗糙度是影響表面的物理和化學性能的重要因素。研究表面粗糙度有重要的理論意義和應用價值。目前已民用工業(yè)許多種量化表示表面粗糙度的方法。zui常用的是RMS。但近年來發(fā)現(xiàn)許多表面的標度不變的復雜結構,RMS粗糙度不能有效地描述這種特點。在非平衡態(tài)下生長的薄膜預期是一個自仿射分的表面,它的RMS粗糙度δ隨薄膜生長時間t和x,y基底的水平取樣長度L有以下關系:δ(L,t)=Lαf(t/Lα/β)

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